第420章 激光等离子体(LPP)方案(1/2)
走廊尽头,窗外的暮色已经悄然降临,将沪市的天际线染成一片灰蓝。
陆承远怔怔地看着秦奋,手里那支未点燃的香烟几乎要被他捏断。
双轴复合振动?
前馈预测算法?
这两个词,对他来说既陌生又熟悉。陌生,是因为在现有的液滴靶技术领域,从未有人提出过如此大胆的设想。熟悉,是因为这背后蕴含的控制论和振动力学原理,又是他这个级别的物理学家能够瞬间领悟的。
传统的单轴驱动,就像用一根手指去弹射水珠,总有力道不均和外界干扰。而双轴驱动,就仿佛用两根手指协同发力,能够实现更精细的姿态控制和扰动补偿。
至于前馈预测……现有的反馈控制,是等发现水珠偏了,再下达指令去修正,这对于每秒八十米的高速目标来说,永远是慢了半拍。而前馈预测,等于是在水珠射出前,就通过模型算出了它可能会出现的偏差,并提前进行了修正。
这是一个从“亡羊补牢”到“未雨绸缪”的颠覆性转变。
“秦总,你……”陆承远嘴唇动了动,想问你是怎么想到的,但话到嘴边又咽了回去。
眼前的这个年轻人,从接手“破晓工程”开始,就一次次地打破他固有的认知。他不是一个只懂资本运作的商人,他似乎对技术的底层逻辑,有着一种令人畏惧的直觉。
“一个不成熟的想法,可能根本行不通。”秦奋没有给他追问的机会,语气轻松地说道,“只是提供一个思路。具体的可行性,还是要靠陆院士你们这些真正的专家来论证。我这边,会立刻安排全球专利库进行检索,看看这两个方向上,有没有可以绕开的壁垒。”
说完,秦奋朝他点了点头,转身离去,留下陆承远一个人在原地,脑海中掀起了惊涛骇浪。
他看着秦奋离去的背影,第一次感觉到,或许,那个“十年之期”的判断,太过悲观了。
……
一周后。
“破晓工程”基地,EUV光源项目组,第一次技术方案评审会。
会议室里坐满了人,除了陆承远和他从长光所带来的核心团队,还有来自国内其他顶尖院所的十余位专家,他们都是被“破晓工程”的旗帜召唤而来的,共同组成了光源攻坚团队。
气氛,从一开始就显得有些剑拔弩张。
陆承远站在主讲台,刚刚结束了对L-P-P,也就是“激光等离子体”方案的初步介绍。这套方案,正是他在启动会上向秦奋等人展示的,以超级激光器和微米级液滴靶为核心的路线。
他话音刚落,坐在他对面的一位头发花白,面容严肃的老专家就推了推眼镜,开口了。
“陆院士,你的LPP方案,理论上很完美,潜力也足够大,这一点没人否认。”
说话的人叫高翔,来自华科院的等离子体物理研究所,是国内另一条技术路线——DPP方案的权威。
“但是!”高翔的声音不大,却充满了不容置疑的力道,“理论和现实是两回事。你提到的超级激光器,20千瓦的稳定输出功率,我们国内现在连5千瓦的工业级样机都没有!还有那个每秒五万次的液滴靶,误差要控制在微米级,这在工程上怎么实现?这些难题,哪一个不是天堑?”
他环视四周,继续说道:“我觉得,在项目初期,我们应该更务实一点。我建议,采用DPP方案,也就是放电等离子体方案。”
DPP,是EUV光源的另一种实现方式。它不依靠激光,而是通过高强度放电,来激发等离子体产生极紫外光。
高翔将一份文件分发给众人,“这是我们所里的一些前期成果。DPP方案最大的优点是技术相对成熟,结构也简单得多。我们不需要那个遥不可及的超级激光器,也不需要那个反物理的液滴靶。虽然它的功率上限比较低,可能最高也就做到支撑7纳米制程,但它能让我们在两年内,就看到一个能发光的、像模像样的东西!”
“我们现在最缺的是什么?是信心!是成果!”高翔的声音高亢起来,“与其好高骛远,把几十上百亿的资金投入到LPP那个无底洞里,最后可能五年十年都听不到一个响,不如先走稳脚下的路,先做出一个能用的东西,哪怕它不那么先进,也足以解决我们‘从无到有’的问题!”
高翔的话,立刻引起了在场不少人的共鸣。
“高工说的有道理,先求稳,再求强,步子迈得太大,容易扯着自己。”
“是啊,LPP的难度太大了,ASML也是在收购了米国的Cyr公司,整合了全球顶尖资源后,花了十几年才做出来的。我们自己从零开始,太不现实了。”
“DPP至少是一条看得见终点的路,虽然那个终点不够远,但总比在LPP的迷雾里打转要强。”
一时间,会议室里议论纷纷,支持DPP方案的声音,明显占了上风。
陆承远的脸色有些难看。他手下的几个年轻研究员试图反驳,但话语在高翔那“先生存,再发展”的务实论调面前,显得有些苍白无力。
“看得见的终点?”陆承远终于忍不住开口,声音冰冷,“高工,你说的那个终点,是7纳米。而我们的目标是什么?是5纳米,3纳米,甚至更远!我们选择一条注定有天花板的路,那从一开始,我们就已经输了!”
“输了?能活下去就不算输!”高翔毫不退让,针锋相对,“陆院士,你这是在用国家的资源,去赌一个渺茫的未来!万一赌输了呢?这个责任谁来负?!”
“我来负!”
一个沉稳的声音,从会议室的门口传来。
众人齐齐转头,只见秦奋在周毅的陪同下,不知何时已经站在了那里。
他迈步走进会议室,径直走到主位坐下。整个会议室瞬间安静了下来,所有人的目光都聚焦在他身上。刚才还剑拔弩张的气氛,像是被一只无形的手按下了暂停键。
秦奋没有看任何人,只是平静地翻看着桌上的两份方案简介。
“刚才的争论,我都听到了。”他缓缓开口,目光扫过高翔,又落到陆承远身上,“DPP方案,求稳,短期可见成果,但有性能天花板。LPP方案,潜力巨大,但技术难度极高,风险巨大。”
他的手指在桌面上轻轻敲击着,发出沉闷的声响,一下一下,都敲在众人心头。
“我理解高工的顾虑,也明白陆院士的坚持。技术路线的选择,是项目成败的根基,不能草率决定。”
他没有立刻表态支持哪一方,这让原本以为他会力挺陆承远的高翔,心里稍稍松了口气。
“这样吧。”秦奋抬起头,目光锐利如刀,“我给你们三天时间。高工,你带领支持DPP的团队。陆院士,你带领支持LPP的团队。分别就自己方案的优缺点,每一个环节的技术瓶颈,需要投入的人力、物力、财力,以及预计的研发周期和风险评估,写出最详尽、最客观的报告。”
“我不要感性的口号,也不要理论上的推演。我要数据,要事实,要你们把所有可能遇到的问题,都摆在纸面上。三天后,在这里,我们开最终决策会。”
秦奋的安排,让所有人都无话可说。
这是一种不偏不倚,完全基于事实和数据的决策方式,也是最科学,最令人信服的方式。
高翔和陆承远对视一眼,都从对方眼中看到了凝重的神色。他们知道,接下来的三天,将是一场没有硝烟的战争,报告上的每一个字,都可能决定“破晓工程”第一战的最终走向。
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