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第419章 第一战:EUV光源(1/2)

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秦奋的电视电话会议,像一场突如其来的强心剂,注入了“破晓工程”这具濒临休克的庞大身躯。

会议结束不到十分钟,Jigwei电子负责人马东的电话,就打到了主管单位的领导那里。电话里,他声音嘶哑,甚至带着一丝哽咽,撤回了那份退出联盟的申请。

“领导,我混蛋!我鼠目寸光!我这就回去开动员会,我们Jigwei就是砸锅卖铁,也要啃下一块骨头来!从今天起,谁再说一句丧气话,我第一个开除他!”

这一幕,在联盟内部的许多成员单位中,以不同的形式上演着。

一夜之间,弥漫在联盟上空的悲观阴云被一扫而空。取而代之的,是一种近乎亢奋的战斗热情。那1215项非核心专利,那五百亿的专项扶持基金,就像是一座巨大的宝库,向所有人敞开了大门。

原本只能在外围敲敲边鼓的中小企业,忽然发现自己有了直接参与核心供应链建设的机会。他们通宵达旦地研究着那些过去想都不敢想的技术图纸和工艺文件,寻找着自己能够承接的部分。

“老张,你看这个!高刚性铸件的热处理工艺!我们厂的退火炉虽然老了点,但要是改造一下控制系统,借着红星的无息贷款,说不定真能干!”

“快!让软件组的人来一下!这份关于伺服电机基础算法的开源代码,虽然不完整,但研究透了,我们公司的产品性能至少能提升一个台阶!”

整个联盟,像一台被激活的巨大机器,伴随着无数的讨论声和键盘敲击声,重新轰鸣起来。

秦奋用最直接的行动,将一场可能导致分崩离析的危机,转化成了一次彻底的内部动员。他没有试图去堵住每一条裂缝,而是直接为整座大厦,浇筑了全新的钢筋水泥。

在指挥中心,看着屏幕上不断跳动的数据流和各单位提交的合作意向书,周毅由衷地感叹道:“秦总,这一手釜底抽薪,算是彻底把军心稳住了。”

秦奋的目光却并未停留在这些“战果”上。他看着办公室墙上那副巨大的光刻机结构图,眼神锐利。

稳住军心,只是为了打好接下来这场更硬的仗。

“B计划只是后勤保障。”秦奋的声音沉静而清晰,“它能让我们有饭吃,有子弹用。但最终要攻下的阵地,还是它。”

他的手指,落在了结构图最核心的三个部分:光源系统、物镜系统、工件台系统。

“通知下去,三天后,在最高保密等级的第一会议室,召开‘破晓工程’001号项目启动会。”

秦奋语气一顿,缓缓说道:“我们的第一场攻坚战,正式打响。目标——EUV光源。”

三天后。

沪市,“破晓工程”基地,第一会议室。

这里是整个基地的核心,墙壁内嵌有电磁屏蔽层,是真正意义上的“密室”。

能坐在这里的,不超过十个人。

秦奋居于主位。他的两侧,是须发皆白的王院士和不苟言笑的李工。除此之外,便是在各自领域足以被称作“国宝”的几位顶级科学家。

会议室的气氛,比三天前那场全联盟大会要严肃得多,甚至带着一丝凝重。如果说那场大会是吹响了冲锋号,那么今天,就是要在地图上,标定出第一个需要用人命去填的碉堡。

会议的主讲人,是一位戴着金丝眼镜,气质儒雅的中年男人。他叫陆承远,华国长光所的首席科学家,在激光物理领域浸淫了三十年,是国内公认的泰山北斗。

他也是秦奋亲自点将的“001号项目”的总负责人。

陆承远没有多余的客套,走到巨大的智能白板前,调出了一张极其复杂的系统结构图。

“各位,摆在我们面前的,是现代工业史上最精密、最复杂的光源系统,没有之一。”他的声音很平静,却带着让在场每个人都能感受到的巨大压力。

“目前全球公认的主流技术路线,是LPP,也就是激光等离子体光源。”

他用激光笔在图上画了一个圈,圈住了两个并行的模块。

“简单来说,我们需要在一个高度真空的环境里,用两束激光,去轰击一颗高速运动的锡珠,让锡珠在瞬间气化成等离子态,从而辐射出波长为13.5纳米的极紫外光,也就是EUV。这个过程,每秒钟要重复五万次。”

在场的都是顶级专家,自然明白这其中的原理。但当陆承远将这个过程用数字清晰地描述出来时,所有人还是感到了窒息般的难度。

“要实现这个目标,我们必须并行攻克两个子系统。”陆承远伸出两根手指。

“第一,一颗动力澎湃的‘心脏’——超级激光器。”

他的激光笔指向了结构图的左侧模块。“这台驱动激光器,必须是高功率的二氧化碳激光器。它需要先发射一束能量较低的‘预脉冲’,将锡珠精准地打成‘薄饼状’,为后续激发做准备。然后在几微秒之内,再发射一束能量高出数个量级的‘主脉冲’,彻底将其轰击成等离子体。”

“这要求激光器的输出功率稳定在20千瓦以上,并且两束脉冲的能量、时序、焦点都要做到微秒级和微米级的精准控制。目前,我们国内实验室能做到的最强稳定功率,还不到这个数字的一半,而且是在非连续工作状态下。”

会议室里一片寂静,只有陆承远沉稳的声音在回响。

“第二个,也是更让人头疼的难题——一个能与激光器完美配合的‘微米级液滴靶’。”

他的激光笔移到了右侧的模块,那是一个看起来结构不算复杂,但旁边标注着密密麻麻参数的装置。

“我们需要一个喷嘴,能以每秒五万次的频率,稳定地喷射出直径只有27微米的液态锡珠。27微米是什么概念?比各位的头发丝还要细一半。而每秒五万次,意味着这些锡珠喷出来的时候,几乎是连成了一条线。”

“我们的两束激光,就要精准地命中这条‘线’上的每一颗锡珠。锡珠飞行的速度,超过每秒80米。这就好比,在一场飓风中,用两把狙击枪,连续命中一颗不断下落的灰尘。”

陆承变的语速不快,但每一个字都像锤子,重重砸在众人的心上。

“这两个子系统,任何一个出现问题,整个光源系统就无法工作。它们不存在谁先谁后,必须齐头并进。任何一项技术,都横亘着无数的专利壁垒和工艺鸿沟。我们没有参考,没有引进,只能从最基础的物理原理开始,一步步摸索。”

他放下激光笔,看向秦奋,神情严肃。

“秦总,这就是我们的技术路线图。坦白说,以我们现有的技术储备和工业基础,想要在短期内完成,我个人认为,可能性……微乎其微。我需要您和上级做好打一场十年以上攻坚战的心理准备。”

十年。

这个时间单位,让会议室里的空气都仿佛凝固了。

而所有人都清楚,陆承远说的“十年”,还是最理想的情况。

王院士长长叹了口气,揉了揉眉心。他搞了一辈子科研,太清楚这种从零到一的难度了。这已经不是钱能解决的问题,它需要时间,需要运气,更需要一代人前赴后继的努力。

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