第419章 第一战：EUV光源（2/2）

会议在一种沉闷的气氛中结束了。几位专家离开时，还在低声讨论着激光器功率放大的理论可能性，和液滴喷射稳定性的控制难题。

陆承远留在了最后，他对秦奋说：“秦总，我刚才的话可能不太中听，但我必须把最坏的情况摆在桌面上。这不是一个靠热情就能完成的任务。”

“我明白。”秦奋点了点头，“陆院士，我请你来，不是来听好消息的。我需要的就是你这份实事求是的态度。钱、人、设备，你需要什么，列出清单，红星集团和‘破晓工程’会不惜一切代价满足你。我只有一个要求，带领你的团队，把所有精力都投入进去。”

陆承远郑重地点了点头：“我定当竭尽所能。”

送走陆承远后，秦奋独自一人留在了空无一人的第一会议室。

他重新走到那块巨大的白板前，看着上面陆承远留下的“超级激光器”和“微米级液滴靶”两个并行的难题。

十年……

他等不了十年。整个华国的高科技产业，也等不了十年。

外部的封锁只会越来越紧，如果没有办法在短时间内取得突破性的进展，好不容易被他鼓舞起来的士气，很快就会在漫长而没有尽头的研发过程中被消磨殆尽。

他闭上眼睛，深深吸了一口气。

当他再次睁开眼时，那股属于普通企业家的焦虑和凝重已经消失不见，取而代之的是一种绝对的冷静和专注。

在他的视野中，一个只有他自己能看到的，由淡蓝色数据流构成的半透明面板，悄然浮现。

【科技文明引导系统】

【宿主：秦奋】

【当前任务：无】

秦奋的意念，在面板上迅速形成了一段清晰的指令。

“启动新任务。目标：自主研发并制造出可用于5纳米制程光刻机的，输出功率稳定在25千瓦以上的高性能EUV光源系统。分析并生成最优技术路径和关键瓶颈突破方案。”

伴随着他的指令下达，系统面板上的数据流开始疯狂闪烁，运算量似乎达到了一个前所未有的峰值。

几秒钟后，一行全新的任务链，以一种庄严而厚重的姿态，在面板上缓缓点亮。

【主线任务：文明之光已激活】

【介绍：当一个文明试图仰望星空时，它首先需要学会如何亲手点燃属于自己的太阳。】

【子任务一：铸造恒星之核】

【任务目标：完成EUV光源系统的研发与制造。】

【任务已分解…】

【第一环节：液滴靶的脉动】

【环节目标：设计并制造出能够以50kHz频率稳定生成直径为27±0.5微米液态锡滴，并在激光焦点处实现位置偏差小于1微米的“双轴压电陶瓷液滴生成器及前馈预测控制系统”。】

【环节奖励：1.“双轴压电陶瓷液滴生成器”全套设计图纸及制造工艺。2.“基于卡尔曼滤波的前馈预测反馈算法”核心代码。】

【当前进度：0%】

看着系统面板上刷出的第一环节任务，秦奋的瞳孔微微一缩。

系统精准地锁定了陆承远口中那个“更让人头疼”的难题——微米级液滴靶。并且，它将这个难题的核心，进一步聚焦到了“液滴生成器”本身，和控制它的“反馈算法”上。

没有大而化之的指导，只有冰冷、精确、可量化的技术指标。

50kHz的频率，27微米的直径，小于1微米的位置偏差……每一个数字，都和陆承远提出的极限要求完全吻合，甚至更加苛刻。

秦奋缓缓吐出一口气，关闭了系统面板。

他转身走出会议室，看到陆承远正站在走廊尽头的窗边，手里夹着一支没有点燃的烟，面色凝重地望着窗外，显然还在为刚才会议上的难题而苦思。

秦奋迈步走了过去。

“陆院士。”

陆承远回过神，勉强挤出一个笑容：“秦总，还没走？”

“在想液滴靶的事？”秦奋没有绕圈子，直接问道。

陆承远苦笑着点了点头：“是啊。激光器那边，虽然难度大，但总归有功率放大的路径可循。可这个液滴靶，每秒五万次喷射还要精准控制，太反直觉了，就像是在跟概率本身作对。我们现在的思路，还是传统的单轴驱动和滞后反馈，误差根本降不下来。”

秦奋看着他疲惫的脸，平静地开口：

“如果，我们不用传统的思路呢？陆院士，我有个不成熟的想法，或许我们可以换个方向试试。”

陆承远一愣，看向秦奋。

“传统的单轴压电陶瓷驱动，力向是单一的。如果我们设计一种双轴甚至三轴的压电陶瓷结构，用复合振动来抵消不规则的扰动呢？”

“另外，滞后的反馈控制肯定不行。我们能不能建立一个基于高速摄像头的飞行轨迹预测模型，用前馈算法，提前半个周期去修正喷嘴的驱动频率和姿态？”

秦奋的声音不大，但每一个字，都像是一道闪电，劈开了陆承远脑中的迷雾。

双轴复合振动？

前馈预测算法？

这……这完全是两个闻所未闻，却又仿佛直指问题核心的全新思路！