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第420章 激光等离子体(LPP)方案(2/2)

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……

三天后。

秦奋的办公室。

两份厚厚的报告,静静地摆在他的办公桌上。

左边是高翔团队提交的《关于DPP光源方案的可行性及实施路径分析报告》。报告做得非常详尽,从等离子体放电室的设计,到电极材料的选择,再到碎屑污染的防护,每一个环节都有具体的设计草案和备选方案。看得出来,高翔和他背后的团队,在这条路上已经走了很远。

报告的最后,结论清晰明了:项目启动后,预计18个月内可以完成原理样机的搭建,输出功率可达100瓦。三年内,有望将功率提升至支撑10纳米制程的水平。但报告也坦诚地指出——受限于放电原理,DPP方案的功率转换效率和输出上限存在物理瓶颈,无法满足未来5纳米及以下制程对光源功率超过250瓦的最终指标要求。

秦奋又拿起了右边那份,陆承远团队提交的《关于LPP光源方案的挑战及攻坚策略报告》。

这份报告,明显比DPP的要薄一些,内容也更偏向理论分析。报告没有回避任何一个难题,反而将它们以最醒目的方式罗列了出来。

——“挑战一:超过20千瓦级高功率、高光束质量、高稳定性连续波二氧化碳主激光器,国内技术空白。”

——“挑战二:微秒级时序控制的预脉冲与主脉冲协同技术,国内无相关研究。”

——“挑战三:50kHz频率下,微米级液滴靶的稳定生成与精准控制技术,现有理论模型不足以支撑。”

……

报告一连罗列了十几项技术难题,每一项后面都用红色字体标注着“几乎不可能在五年内独立解决”。

整份报告,与其说是攻坚策略,不如说是一份“劝退书”。

周毅站在一旁,看着这两份对比鲜明的报告,眉头紧锁:“秦总,这……L-P-P的难度,比我们想象的还要大。陆院士这份报告,几乎是把‘此路不通’写在了脸上。”

秦奋放下报告,靠在椅背上,沉默了许久。

办公室里,只剩下空调的微风声。

良久,他拿起电话,拨通了项目组的内线:“通知所有核心成员,半小时后,第一会议室,开会。”

半小时后,第一会议室,气氛比三天前更加凝重。

所有人都已经看过了彼此的报告,DPP的务实可行与LPP的艰难险阻,形成了无比鲜明的对比。

高翔的表情很平静,他自信自己的报告已经把利弊说得足够透彻。而陆承远则显得有些紧张,他那份报告几乎是在自我否定,他不知道秦奋看了之后会作何感想。

秦奋走进会议室,将两份报告轻轻放在了会议桌的中央。

“报告,我都看完了。”

他的目光扫过全场,最后定格在高翔和陆承远的脸上。

“两份报告都做得很好,很客观,很专业。让我,也让在座的各位,对两条路线的真实情况,有了清晰的认识。”

他拿起DPP的报告。

“高工的方案,让我们看到了一条清晰的路,一条能在短期内为我们带来成果和希望的路。这一点,难能可贵。”

听到秦奋的肯定,支持DPP方案的专家们脸上露出了一丝喜色。

然而,秦奋话锋一转。

“但是……”

他将报告翻到最后一页,指着那行关于“无法满足最终指标要求”的结论。

“我们启动‘破晓工程’,不是为了做一个实验品,也不是为了向上级交一份好看的答卷。我们是在做一个能用十年,二十年,甚至更久的产品。我们是在为整个华国的芯片产业,打造一副能与世界最强者抗衡的铠甲!”

他的声音陡然拔高,掷地有声。

“选择一条注定有天花板的路,就是选择在出发时,就承认自己的终点不如别人!这是对国家投入的资源不负责任,更是对我们自己,对整个项目组消耗的时间和生命不负责任!”

秦奋放下DPP报告,拿起了那份写满了“不可能”的LPP报告。

“我知道,这条路很难。”他直视着陆承远,以及他身后那些神情忐忑的年轻研究员,“这份报告里的每一个字,都在告诉我,选择它,就是选择了一条九死一生的路。”

“但它,是一条通往终点的路!哪怕这条路再难,哪怕路上布满了荆棘和悬崖,它指向的方向,是正确的!”

秦奋的目光变得无比坚定,他环视全场,一字一句地宣布了他的决定。

“我决定,‘破晓工程’001号项目,EUV光源攻坚战,最终技术路线——”

他将LPP的报告,重重地拍在了桌面上。

“激光等离子体方案!”

“从现在开始,项目组内不允许再有关于路线的争论。所有资源,所有人力,全部向LPP方案倾斜!”

“高工,”秦奋看向面色复杂的的高翔,“你的团队在等离子体物理和真空技术上的积累非常宝贵,我希望你能抛下成见,带领你的团队,协助陆院士,负责LPP方案中‘真空靶室’和‘等离子体碎屑收集’这两个关键子系统的研发。”

高翔看着秦奋,嘴唇翕动了几下,最终,他长叹一声,缓缓站起身,对着秦奋,也对着陆承远,郑重地点了点头:“我服从安排。”

秦奋的决断,如同一柄重锤,彻底为这场争论画上了句号,也为整个战役,指明了唯一且正确的方向。

他看向斗志被重新点燃的陆承远。

“陆院士,现在,告诉我,你的第一个目标是什么?”

陆承远深吸一口气,眼中爆发出前所未有的光芒。

“报告秦总!目标一:超级激光器!目标二:微米级液滴靶!双线并行,即刻启动!”

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