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须承认,尼康确实是一家伟大的企业你们做的并不是普通的生意,而是把光当做一件艺术品来卖”
鹤田听着身边的同声传译,翻译了周硕的话之后,也忍不住自得的点了点头。没错,尼康作为一个光学企业,这样的赞誉当之无愧。
然而,周硕的语调在经过这段高亢之后,猛的低沉了下去。
“但是这种光的艺术,我们的国家却是一片荒漠。”他沉痛的说道:“我们还在为2微米工艺伤脑筋的时候,国际上已经普遍使用亚微米技术了。当被国家民族寄以厚望的908华晶工程陷入困顿的时候,te就已经在使用05微米工艺来制造他们的cu。”
“我们终于解决了08微米工艺的难题进入亚微米时代,尼康和阿斯麦的战火却已经燃烧到了025微米级别。如果按照正常的进度,等我们再过两年,国际上进入纳米时代的时候,国产光刻机基本上就可以放弃努力了因为我们的高端光学,那个时候恐怕只能生存在实验室里了。”
“没有产业化为高端的光学工艺提供出路,单凭财政拨款根本不可能追赶的上国际先进水平”周硕痛心疾首的说道:“事实早就已经证明,计划经济的研究方式,是无法适应市场竞争的就算我们能够做光刻机的系统集成,也一样要在镜头上受制于人。”
“所以说”周硕闭上眼睛,深深的吸了一口气,长叹一声道:“我们中国人这时候,已经站在了光刻机产业的悬崖边上。再退后一步,背后就是万丈深渊。”
他慢慢的张开眼睛,看着鹤田无比真诚的说道:“所以,鹤田先生你能明白,我的觉悟吗为了让我们中国人也能拥有这种光的艺术,我不惜一切代价”
啪啪啪啪
鹤田忍不住由衷的拍起手来,周硕的这一番话,让他有种看到六十年代昭和男儿一般的风采。
日本崛起的基础,正是在那个年代的那样一批人手里被奠定,他们拥有无限的热情和为了国家奉献的责任感、紧迫感。从这一点上来说,周硕和他们无疑是同类人。妄图以自己的一双肩膀,挑起一付原本不属于自己的重担。
梦想也好、责任也罢,世人常常嘲笑他们傻,却忘记正是这样的人才能成为撑起一个国家的脊梁。
“周桑说的太好了,让我忍不住想到了我国战后通产省的前辈佐桥滋。正是他这样的人,怀着富强日本的梦想,付出无数的辛苦努力和热血,这才有了日本的今天。”鹤田看起来,对那段历史很是心驰神往:“今天的中国能有周桑这样的人,我相信中国在未来一样会成为一个美好的国家”
来自鹤田的肯定,不仅是周硕,更让泛翰集团所有与会的人都与有荣焉。人生最大的成就,莫过于来自敌人的肯定。鹤田这一句话,可以说是大大的振奋了泛翰集团这一侧的士气。
“但是,时代已经不同了”鹤田用更猛烈的气势,猛然回击道:“这个世界是如此的冷酷,并不会因为人们的努力而一定就会有收获。哪怕是佐桥滋的思想,现在在日本都已经没有市场了。市场之所以是市场,就是因为它的冷酷无情和利益至上所以真的非常抱歉,周桑你的理想我非常敬佩,但生意就只能是生意”
“生意就是生意啊”周硕坐在椅子上,放松的长叹道:“说的真话,用这句话拿来给资本做脚注,实在是再贴切不过。”
“周桑也是知道市场不会以人的意志为转移的,所以请不要再做无谓的挣扎了”鹤田诚恳的说道:“请按照市场规律,面对现实吧”
“哈哈哈哈”周硕突然张嘴大笑了起来,站起身说道:“说得好,就让我们面对现实吧”
鹤田见到周硕的样子,心下振奋的以为他已经想通了,却不想他的话音打了个圈又兜了回去。
“既然如此,我们就用市场规律说话,请尼康公司面对现实吧”
周硕双目炯炯有神,拿出一份文件猛的拍在了鹤田的面前。
第三百九十六章投影曝光
如果没有周硕的干扰,从035微米工艺向025微米工艺过渡的光刻机,真实历史上实际使用的是步进重复投影曝光技术。
在035微米工艺及之前,光刻机光学掩膜版的制作要求是非常高的。基本上和生产的芯片,是一对一全比例设计。
掩膜版投射的镜头需要与硅片进行完全的接触,接触中甚至要抽成真空状态。然后光源系统的激光打到掩膜版上,投影部分的光刻胶就会被蒸发掉。把这样的晶圆放到蚀刻机里面,化学药品就会将没有覆盖光刻胶的部分腐蚀掉,然后再把晶圆转移到离子注入机上进行离子注入
把镜头和晶圆直接接触,或者两者之间只有小缝隙的接近,这种光刻机被称之为接触、接近式曝光技术。因为使用这种技术的光刻机镜头要和晶圆进行完全的接触,对掩膜版、镜头、晶圆和光刻胶都有非常高的要求。
这种设计自有其好的一面,对镜头精度要求低,系统复杂度低,以及成像质量高之类的优点。但也有其致命的缺陷,035微米工艺基本上就是其经济性的极限了。
025微米工艺光刻机想要延续接触式曝光,整个系统需要的机械精密程度,掩膜版的成本、掩膜版和硅片的接触紧密度,系统的集成难度都开始了几何级数的增加。
于是在原本的历史上,尼康也好、阿斯麦也好都选择了另一条路,那就是非接触式曝光。也就是投影式曝光技术。
这种技术说白了,就是好像平常用放大镜聚集太阳光一样。用棱镜系统将光源从远处投射到硅片上。这样经过几次聚焦、折射、再聚焦,最终投影到硅片上的图形比掩膜版甚至可以小上4倍。
对于沉浸式光刻技术而言。投影式曝光技术最大的好处就是避免了使用防水光刻胶的高成本。
其实说起来,周硕现在真的很想哈哈大笑一下,以发泄自己内心的畅快
日本人费尽心思弄到了防水光刻胶的技术,原本他们这个技术至少是可以吃一代光刻机没问题的。历史上,早期沉浸式光刻机系统也是使用防水光刻胶的接近式光刻机,直到投影式光刻机成为主流防水光刻胶才退出了历史舞台。
他现在拿出来的这份文件,自然就是投影式光刻机的技术专利,可以说这项技术一出防水光刻胶就是一个废物了
鹤田刚开始还不以为然,在他的心里早就已经认为泛翰集团是砧板上的鱼肉。哪里还有什么翻盘的机会
这个年代里,日本人不仅是骄傲的,而且也非常有骄傲的资本。整个九十年代,世界十大晶圆厂,日本人占了半数还多
在鹤田和所有日本人看来,中国人能拿出沉浸式光刻技术纯粹就是瞎猫碰死耗子,反正搞举国体制不正是共产国际的强项嘛
除了沉浸式光刻技术这种独辟蹊径的取巧之道,日本人绝不相信泛翰集团还能在其他方向产生突破,他们手里的底牌也就是仅此而已。
然而事实证明。中国人比他们想象的要强大的多。这对鹤田来说,不啻是一个巨大的嘲讽。
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