第242章 方案,缺设备,去辽省摇人(1/2)
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在这些哈军工学子们翘首以盼的目光中,林言特地找来块黑板放在实验室中央,随后边画图边对学生们讲解:
“我总共有两个思路,第1种思路是不需要额外设备,按照目前咱们实验室的条件便可以完成。”
“首先,先进行区熔提纯加分段切片:”
“用高频感应线圈在晶棒上扫出窄熔区,从一端慢速移到另一端。由于锑的分凝系数小,杂质会被熔区带着往尾端走。所以只要反复两三次,轴向均匀性能压下来。”
“并且拉出来的晶棒也别从头用到尾。咱们按电阻率分段。上段做高阻区,中段做工作区,尾段杂质太浓的要么用来调参数,要么直接回炉。”
“其次,定比掺杂加气氛控制。掺杂不能往原料里一把撒,要算好锑的总量,按目标电阻率反推浓度。炉膛抽真空要到位,拉晶前烘烤除气,必要时通高纯氮气或氩气保护,把残余氧和水气压下去。切片后做标准腐蚀,去掉损伤层和表面反型层,再测霍尔和少子寿命,数据才可信。”
听着林言的讲解,
原本对这些问题还朦朦胧胧的哈军工学生们,
此刻全是一副如痴如醉的表情。
不过他们这种轻松惬意的沉浸式听课,瞬间便被柳克俊的怒吼狠狠打碎:
“怎么回事?你们一个个都是傻了吧唧了吗?”
“你们小学长给你们讲解这么重要的知识要领,你们居然还不动笔记录?我看你们是昏了头吧!”
听着柳克俊把桌角敲得震天响的声音,在场的学生们这才如梦初醒般地回过神,随后赶紧掏出笔记本刷刷地写起来。
而柳克俊依旧没有轻易放过他们,如同拿着鞭子的监工,时不时地就拷打某些笔记慢的学生:
“定比掺杂、气氛控制、标准腐蚀等等参数全都给我记下来!”
“但凡少记一个,等下次你们实验还弄错了话,我让你们吃不了兜着走!”
“哭?”
“我会让你们连哭都哭不出来哦!”
听到柳克俊恶魔般的话语,学生们倒抽一大口凉气的同时,纷纷恨不得自已这时候能化作千足蜈蚣,好让自已不遗漏林言说的每个字。
面对哈军工学子们崇拜的目光,林言却没有丝毫骄傲的神色。
甚至在说完这套方法后,还有些意兴阑珊地叹口气:“不过哪怕我已经按现有条件改进成这个方法,但以咱们目前的设备情况,还是难以保证运行稳定。”
“真空度顶多到10?2托,扩散泵油返流严重,炉膛残余氧和水汽压降不下去。高频电源也没稳频,输出功率波动在±8%以上,熔区温度场根本稳不住。”
“再加上没有在线监测,拉速、转速全靠手调,人为误差太大。这么搞下来,区熔提纯的轴向均匀性最多能把电阻率偏差压到±30%左右,分段切片之后,中段工作区能用上的料,大概只占整根晶棒的 3 成。”
“综合算下来,按现有条件硬上,成功率不到 4 成。能出几根勉强合格的,并且批次重复性基本别想,每一炉都得重新摸参数。”
听到林言的评价,在场学生们确实面面相觑。
都快能摸到 4 成成功率的门槛,小学长居然还觉得不满意?
放他们平时拉制10根锗单晶,只要能有半根完好的,他们就已经要各种阿弥陀佛烧高香。
【人和人之间的差距,难道就这么大?】
而柳克俊则听出了林言的弦外之音:
“小林,你难道还有更好的方法?”
林言点点头:“对的,我的第二种构想是这样的:上水平区熔炉配自动拉晶机,熔区长度、移动速度、拉速、温场梯度全部闭环控制。”
“高频电源加稳频稳幅模块,功率波动压到±1%以内;炉膛换高真空系统,极限真空做到10??托以上,配冷阱挡油;掺杂用预合金锑锗锭,浓度偏差控在±5%以内;”
“再加在线四探针电阻率监测和少子寿命光电导衰减测试,实时反馈调整。这样拉出来的晶棒,轴向电阻率偏差能压到±10%以内,少子寿命稳定在十几微秒以上,成功率能提到 9 成以上,批次重复性也有保证。”
柳克俊听着林言的构想,
沉吟许久后,眼神愈发炽热如炬,并连连点头表示肯定:
“对的对的,这个方法确实是好,要是能有这么一套设备的话,那锗单晶的拉制就完全没问题。”
不过他很快又陷入新一轮的苦恼之中:
“但这些设备......不好弄啊!”
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