第309章 手测参数注入数控大脑（2/2）

三百九十五个参数。

陈默一个一个报，江俊一个一个录。

没有人翻笔记本。

全在陈默脑子里。

三年，一百八十六次保养。

每一次保养都要重新测量、重新记录。

数据早就刻进骨头里了。

直播间弹幕滚动：

【这人是活的数据库啊。】

【三年不是白守的，他把整台机器背下来了。】

【人形激光干涉仪，比机器还精密。】

下午三点，全部补偿参数录入完毕。

江俊做最后一项测试：

让工作台在全行程范围内往返运动。

光栅尺实时采集位置数据。

屏幕上，一条绿色的曲线缓缓展开。

平直。

偶尔有微的波动，但伺服电机在零点几秒内就把它拉回来。

“全行程定位精度，”

江俊盯着数据，声音有点发紧，

“正负3微米。”

陈默靠在机器旁边，慢慢滑坐到地上。

他没哭。

他笑了。

笑着笑着，把脸埋进膝盖里。

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光刻机活了。

但活过来只是第一关。

三天后，第一批试制硅片进入湿法刻蚀环节。

刻蚀槽是陈默用不锈钢焊的，简陋但干净。

酸液配方按照教科书上的标准比例调配。

第一片硅片放进去.

计时，取出，纯水冲洗，推到显微镜下。

江俊看了一眼，脸色变了。

“侧蚀太严重。”

他让开目镜，林希凑上去看。

5微米的线条，被酸液从两侧啃进去将近2微米。

剩下的线宽不到1微米，有些地方已经断了。

换配方，提高酸液浓度。

第二片，断线更多。

降低浓度，缩短时间。

第三片，沟槽底部没刻透。

连续三个通宵。

十七种配方。

没有一片合格。

第四天凌晨，刻蚀车间里弥漫着酸雾的味道。

陈默靠在墙角打盹，江俊的眼睛布满血丝。

林希坐在角，闭上眼睛。

脑海里，直播间的画面亮了起来。

他把问题原原本本地了一遍。

弹幕沉默了十几秒。

然后一个ID冒了出来：【材料狗不睡觉】。

【别用纯HF。】

【现在的光刻胶耐酸性差，纯氢氟酸刻蚀速率太快，根本控不住侧向钻蚀。】

紧接着，第二条弹幕：

【加NH4F做缓冲剂。氟化铵和氢氟酸的摩尔比6:1，槽液温度锁死35度。这个配方叫BOE，缓冲氧化物刻蚀液。】

第三条：

【关键点：35度恒温。温度每波动1度，刻蚀速率变化8%。你们没有恒温槽的话，用水浴锅套着不锈钢槽，温度计插在水浴里，人工盯着。】

第四条，另一个ID【半导体搬砖人】：

【NH4F这东西你们1983年应该能搞到，化工厂有。纯度不用太高，分析纯就够。】

弹幕区停了一秒。

然后齐刷刷一排：

【大佬！】

【材料狗永远不睡觉，但永远能救命！】

【六比一！记住了！考试要考！】

林希睁开眼。

“陈师傅。”

“化工库房里有没有氟化铵？”