第308章 给光刻机装“眼睛”（2/2）

“林总。”

江俊的声音压得很低，但压不住底下的东西。

“这个底座……”

“铸铁件自然时效去应力。”

林希接过话。

“这台机器从1979年铸造到现在，经历了四个春夏秋冬。”

“铸铁内部的残余应力。”

“已经通过自然温度循环，完成了最充分的释放。”

“现在这个底座的形变量，比任何人工退火处理都要。”

他拍了拍铸铁基体。

“这是时间给的礼物。”

“花多少钱都买不来。”

陈默愣住了。

他守了这台机器三年。

听过无数人它是废铁、是累赘、是过时的破烂。

从来没有人走过来摸一把导轨。

然后告诉他，这台机器的底子是好的。

直播间的弹幕也在此刻快速滚动起来：

【懂行的来了！自然时效是精密设备领域的“陈年老酒”，放得越久越值钱！】

【林总之前造砥柱机床，底座用的泉城青花岗岩，也是同样的道理，追求极致的形变稳定性。】

【所以这台光刻机的机械底座，反而因为放了四年，变成了最完美的状态？】

【废铁？这是宝贝！被你们当废铁扔了四年的宝贝！】

陈默的嘴唇哆嗦了好几下。

“你是……这台机器，还能用？”

“不是还能用。”

林希收回手指，把沾着油膜的指腹在裤腿上蹭了蹭，

“是它从来就没坏过。”

他绕着GK-3走了一圈。

军大衣被掀开大半，露出主光路系统的铸铝外壳。

汞灯光源的接口擦得锃亮，连螺纹里都没有积灰。

“陈师傅。”

“这台机器当年下马，不是因为光学系统不行。”

林希停在XY工作台前。

用指甲弹了一下导轨侧面的刻度盘。

“是因为这个。”

陈默一愣。

“套刻对准。”

林希蹲下去。

指着工作台底部一组老式的蜗轮蜗杆传动机构，

“纯机械传动，没有位置反馈。”

“丝杠转一圈，理论行程是0.5毫米。”

“但实际上，蜗轮齿面磨损不均匀。”

“每转一圈的真实位移都不一样。”

他站起来，拍了拍手上的灰。

“套刻精度要求正负5微米。”

“这套机械传动的累积误差，最大能到8微米。”

“所以第二层图形永远对不准第一层。”

“废片率超过六成。”

陈默的身体晃了一下。

他当然知道。

这个问题困扰了整个109会战团队两年。

他师傅为了解决这个死区。

在显微镜前连续坐了七十二个时。

左眼的视网膜就是那时候脱的。

最后也没解决。

林希从公文包里抽出一张图纸，展开铺在行军床上。

图纸上画着一套改造方案。

XY工作台两侧，各加装一条光栅尺。

光栅尺的信号接入一块数字控制板。

控制板驱动两台微型伺服电机。

替换原有的手摇蜗轮。

“红星和长光所联合自研自产的光栅尺，分辨率1微米。”

林希用笔尖点着图纸，

“配合闭环伺服控制。”

“丝杠的累积误差，在每个采样周期内实时补偿。”

他看向陈默。

“你的机器什么都好。”

“光学系统是王老定的方案。”

“底座经过四年自然时效，主光路没跑偏。”

“它就差一双眼睛。”

“现在，我把眼睛给它装上。”