第287章 我是谈判代表？（1/2）

这人是名年约五旬的老者，头发花白却精神矍铄，缓缓站起身，笑着对他说：

“姜先生你好。

我是军、工、工程师，您可以叫我张工。

我旁边这位，是军方技术负责人陈将军。”

他指了指身旁，穿着少将制服的中年男人，对方微微颔首，

“之所以打断你，是想问问，

难道，你这次没有准备纸质资料，或者电子档案吗？

我们也好对照记录。”

听到张工的询问，姜明偷偷瞥了一眼，主座上的江老，见老爷子脸色沉了沉，无奈解释：

“张工，实在抱歉。

我这不是刚把消息告知江老，还没来得及准备，就被他‘提溜’过来了嘛。”

他故意加重了“提溜”二字，

引得旁边的陈将军，嘴角微微上扬，

“我都说了，

给我点时间，先把研究所注册好，可老爷子的命令太大，我不敢违背呀。”

主位上的江老听到这话，

顿时冷哼一声，

却没再多说什么——这小子，还敢倒打一耙。

众人听了姜明的解释，这才恍然大悟，

会议室里的严肃气氛缓和了些。

张工笑着摆了摆手：

“哦，那是我误会姜先生了。

那么接下来，就辛苦你把5纳米和6纳米，光刻机的基础参数，跟我们说说，

我们这边做实时记录。”

他拿起笔，眼神里带着期待——要是这参数真能落地，

我国的芯片技术，就能往前迈一大步。

姜明点点头，指尖无意识地在桌沿轻点，

开始精准报出数据：

“先讲5纳米机型。

核心的激光光源波长，是13.5纳米极紫外光，数值孔径0.33。

工作台最高移动速度，能到每秒300毫米，

定位精度必须控制在正负2纳米以内，

多一丝都不行，

这是保证芯片良率的关键。”

张工手里的笔，在笔记本上飞速滑动，笔尖在纸上划出“沙沙”声，

听到“正负2纳米”时，他猛地抬头，

眼里闪过一丝震惊，

随即追问：

“曝光系统的功率和透镜材料呢？

这俩参数，对后续调试影响很大。”

“5纳米机型的曝光功率，稳定在250瓦，波动范围不能超正负1%，透镜用的是合成熔融石英，

表面粗糙度得低于0.1纳米。”

姜明顿了顿，刻意略过核心工艺，

“具体怎么做到这么低的粗糙度，目前不方便多讲，属于独家技术。”

他看向陈将军，对方正微微点头，

显然对这个精度很满意。

“6纳米机型的光源波长，和5纳米一样，但数值孔径降到0.28，工作台负载上限，

比5纳米的高15%，适合量产。

曝光功率下调到200瓦，更节能。

透镜加了抗反射涂层，能减少8%左右的光损耗。”

陈将军放下手里的水杯，杯底与桌面碰撞发出轻响，他沉声问道：

“真空系统和光刻胶适配的关键参数，能说吗？

这直接关系到设备，

能不能在现有厂房里安装。”

“真空系统两者都是三级差分泵，真空度能达到****帕，不过泵体的内部结构，

得等后续流程走完再细谈。”

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